关于《等离子体设备用射频电源智能阻抗匹配系统技术规范》等八项团体标准立项公告
中技协标〔2026〕46 号
各有关单位:
根据国标委、民政部发布的《团体标准管理规定》及中国技术市场协会团体标准制修订相关程序,《等离子体设备用射频电源智能阻抗匹配系统技术规范》八项团体标准已通过专家评审,符合立项要求(清单见附件)。
组织工作由北京中研博采技术服务有限公司负责。请各参编单位严格按照有关规定,规范有序开展标准研制工作。
联系人:乐志斌 15010177790
附 件:团体标准立项清单
中国技术市场协会标准化工作委员会
2026年6月1日
jsxb2026 46号关于《等离子体设备用射频电源智能阻抗匹配系统技术规范》等八项团体标准立项公告.pdf


